[发明专利]一种可变间距电容的微惯性传感器及其制作方法

摘要

本发明涉及一种可变间距电容的微惯性传感器及其制作方法。现有产品限制了传感器振子的质量增加和极板间距的减小。本发明中敏感器质量块为刻蚀有与栅形条的矩形硅片，两对应端通过硅支撑梁与锚点连接，另两个对应端分别设置有数量相同、位置对应的硅条。驱动器质量块设置在驱动器质量块的两侧，中间刻有环行槽，两侧设置有可动驱动硅条和梳齿状的检测硅条，敏感器质量块连接的硅条与对应的检测硅条组成检测电容。固定驱动硅条的梳齿条与可动驱动硅条组成驱动电容。玻璃衬底表面对应敏感器质量块设置有叉指铝电极，敏感器质量块的每条栅形条与叉指铝电极中的每对叉指相对应。本发明工艺简单，有利于降低成本和提高成品率。

主权项

1、一种可变间距电容的微惯性传感器，包括玻璃衬底、敏感器质量块、驱动器质量块和固定驱动硅条，其特征在于：所述的敏感器质量块为矩形硅片，敏感器质量块的两对应端通过敏感器U形硅支撑梁与敏感器锚点连接，敏感器锚点固定设置在玻璃衬底上，敏感器质量块与玻璃衬底平行设置；敏感器质量块的另两个对应端分别设置有n组硅条组，每组硅条组包括平行设置的m条硅条，n≥2、m≥1，敏感器质量块两端的硅条数量相同、位置对应，硅条与敏感器质量块侧边垂直；敏感器质量块上刻蚀有与硅条平行的栅形条；敏感器质量块的两侧分别设置有n个驱动器质量块；所述的驱动器质量块为矩形硅片，驱动器质量块的两对应端通过驱动器U形硅支撑梁与驱动器锚点连接，驱动器锚点固定设置在玻璃衬底上，驱动器质量块与玻璃衬底平行设置；每个驱动器质量块的一侧设置有m个可动驱动硅条，另一侧设置有检测硅条；所述的检测硅条为梳齿状，齿间为阻尼条，检测硅条与敏感器质量块连接的硅条平行、位置对应，敏感器质量块连接的硅条与对应的检测硅条组成检测电容；驱动器质量块中间刻有环行槽；两个梳齿状的固定驱动硅条固定设置在玻璃衬底上，每个固定驱动硅条的梳齿条与可动驱动硅条位置对应；固定驱动硅条的梳齿条与对应的可动驱动硅条组成驱动电容；两个固定驱动硅条通过玻璃衬底表面上的引线与驱动器外部连接锚点连接；玻璃衬底表面对应两个敏感器锚点位置设置有两个敏感器质量块焊点，敏感器质量块焊点与敏感器锚点连接；玻璃衬底表面对应敏感器质量块设置有叉指铝电极，敏感器质量块上刻蚀的每条栅形条与叉指铝电极中的每对叉指相对应。