[发明专利]硫化锌/硒化锌复合红外透过材料的制备方法及模具

摘要

本发明公开了一种ZnS/ZnSe复合红外透过材料的制备方法，在具有真空加热体系的化学气相沉积炉中采用化学气相沉积法，在ZnSe基底上沉积ZnS，其特点是：直接在沉积炉中分别加热升华产生Zn、S的蒸气，在沉积腔中进行气相反应而沉积ZnS，将ZnSe基底先进行抛光、热处理、等离子清洗的表面处理；再将处理后的ZnSe基底放入生长模具上，然后将生长模具放入沉积腔上半部的确定位置上，进行沉积；其沉积腔的温度560-700℃，压力控制在300-720Pa，沉积期间锌坩埚温度控制在500℃，硫坩埚温度控制在300℃，使用的载流气体是氢气和氩气，模具后部到ZnSe基底处设有一圆形孔洞，方便产品完整快速取出，这种方法在ZnSe上沉积一层大于1mm厚的CVDZnS的产品，其光透过波段为0.4-12μm，且结合牢固，应用前景广泛。

主权项

1、一种硫化锌/硒化锌复合红外透过材料的制备方法，在具有真空加热体系的化学气相沉积炉中采用化学气相沉积法，在ZnSe基底上沉积ZnS，其特征是以直接在沉积炉中分别加热升华产生Zn、S的蒸气，在沉积腔中进行气相反应而沉积ZnS，其制备步骤如下：A)将要被沉积上ZnS的ZnSe基底先进行抛光、热处理、等离子清洗的表面处理；B)马上将处理后的ZnSe基底放入生长模具上，然后将生长模具放入沉积腔上半部的确定位置上；C)然后启动沉积炉各系统，进行ZnS的化学气相沉积，其沉积工艺条件是：沉积腔的温度560-700℃，压力控制在300-720Pa，沉积期间通入载流气体，沉积时间至少50h，而后停止Zn、S的加热升华，当Zn、S所在的坩埚温度降至各自之升华温度以下时，停止载流气体的通入；并且将沉积腔温度升高20℃，保温12h，然后作退火处理，即以缓慢的降温使沉积腔的温度降至室温；