[发明专利]激光差动共焦图谱显微层析成像装置无效

专利信息
申请号: 200910082248.6 申请日: 2009-04-21
公开(公告)号: CN101526477A 公开(公告)日: 2009-09-09
发明(设计)人: 赵维谦;王允;邱丽荣 申请(专利权)人: 北京理工大学
主分类号: G01N21/65 分类号: G01N21/65;G01N21/64;G01N13/00;G02B27/09
代理公司: 北京理工大学专利中心 代理人: 张利萍
地址: 100081北*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明属于光学显微成像及光学精密测量技术领域,涉及一种激光差动共焦图谱显微层析成像装置,主要包括拉曼光谱分析部分(25)和沿光路依次放置的物镜(6)、偏振分光镜(7)、1/4玻片(8)、测量物镜(9);还包括位于偏振分光镜反射方向反方向的差动共焦探测部分(26)。本发明中的差动共焦探测部分用于对样品微区几何位置的测量和对样品定焦,得到样品微区的图像信息;拉曼光谱探测部分用于对样品被探测区的材料光谱进行分析,得到样品微区的组分信息;通过两个部分的结合可以实现对样品的纳米级微区图谱测量,同时得到样品微区的几何形貌和材料组分信息。本发明为生物医学、材料科学和高能物理等前沿学科提供了有力的观测手段。
搜索关键词: 激光 差动 图谱 显微 层析 成像 装置
【主权项】:
1.一种激光差动共焦图谱显微层析成像装置,其特征在于包括拉曼光谱探测部分(25),沿光路依次放置的物镜(6)、第一分光镜(7)、位于第一分光镜(7)透射方向的测量物镜(9)和用于驱动测量物镜(9)在轴向移动的轴向驱动装置(8),和二维扫描驱动装置(28);还包括放置在第一分光镜(7)反射方向反方向的差动共焦探测部分;还包括一个激光器(1)和一个数据融合处理系统(24);其中激光器(1)通过单模保偏光纤与拉曼光谱分析部分(25)连接,用于给系统提供测试用的照明和激发光源;数据融合处理系统(24)与拉曼光谱探测部分(25)和差动共焦探测部分(26)相连,用于融合处理两个部分探测接收到的光谱信息和位置信息,得到样品的微区图谱信息;
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