[发明专利]一种用于电光探测器电压校准的方法有效
| 申请号： | 200910067242.1 | 申请日： | 2009-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN101609134A | 公开（公告）日： | 2009-12-23 |
| 发明（设计）人： | 孙洪波;金如龙;衣茂斌;杨罕;赵迪 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01R35/00 | 分类号： | G01R35/00;G01R31/311 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 张景林;刘喜生 |
| 地址： | 130023吉林省*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明属于集成电路电光采样技术领域，具体涉及一种对电光探测器的调制信号电压进行校准的方法，是对集成电路故障诊断时在近直流区域(10MHz以内)对被测电压定标校准的新技术。电压定标测量一直是电光检测技术有待解决的问题。本发明利用近直流的低频区域内电光材料的压电谐振峰，提高电光检测的电压灵敏度两个数量级。在探头的电光介质层的上表面引入参考电极，并在参考电极上接入与被测电路相同频率的并与被测电压信号同相和反相的已知电压幅度的电信号作为比较标准，实现对被测电压幅值的标定，平均测量误差小于6％，满足集成电路故障诊断的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 电光 探测器 电压 校准 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于电光探测器电压校准的方法，电光探测器的光电光探头(8)依次由透明基底(18)、作为参考电极的透明导电层(19)、反射膜(20)和电光介质层(21)组成，其特征在于：利用电光介质层(21)逆压电效应和电光效应产生的电光调制信号随待测电路(9)表面电压信号变化的一致性，在电光材料层(21)的逆压电谐振峰附近测量待测电路(9)的表面电压信号，进一步由示波器(16)显示电光探头(8)探测到的待测电路(9)表面某一点的电光调制信号的峰峰值Vp-p值，经过电压定标后得到待测电路(9)表面某一点的电压信号，从而提高电光检测的电压灵敏度。
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