[发明专利]一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法有效
| 申请号： | 200910061031.7 | 申请日： | 2009-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN101505035A | 公开（公告）日： | 2009-08-12 |
| 发明（设计）人： | 方国家;黄晖辉;莫小明;龙浩 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | H01S5/32 | 分类号： | H01S5/32;H01S5/327;H01L21/203;C23C14/35;C23C14/26;C23C14/08;H01L21/28 |
| 代理公司： | 武汉华旭知识产权事务所 | 代理人： | 刘 荣 |
| 地址： | 43007*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管及其制备方法。该异质pn结二极管至少包括pn结、衬底和欧姆接触电极，pn结是在n型氧化锌薄膜上镀有p型氧化镍薄膜的异质pn结；衬底为镀有n型GaN的蓝宝石。其制备方法是首先用射频磁控溅射工艺在衬底上制备n型ZnO薄膜层；然后在n型ZnO薄膜层上溅射p型NiO薄膜层形成异质pn结；最后采用溅射法或热蒸发法制作pn结电极；NiO表面溅射金电极或铂电极或镍铂电极或ITO电极，在GaN或在ZnO边缘镀上铟电极或铝电极或金电极；电极通过后退火合金化形成欧姆接触。这种异质pn结二极管具有较好的电致紫外激射发光特性，发光峰值波长在375nm左右，且制备工艺简单、成本低廉。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化锌 氧化 镍异质 pn 紫外 激光二极管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种n-氧化锌/p-氧化镍异质pn结紫外激光二极管，至少包括pn结、衬底和欧姆接触电极，其特征在于：pn结是在n型氧化锌薄膜上镀有p型氧化镍薄膜的异质pn结；衬底为生长在蓝宝石上的n型氮化镓。
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