[发明专利]互连线有源器件测试结构及方法无效
| 申请号： | 200910057766.2 | 申请日： | 2009-08-19 |
| 公开（公告）号： | CN101995523A | 公开（公告）日： | 2011-03-30 |
| 发明（设计）人： | 秦晓静;程玉华 | 申请（专利权）人： | 上海北京大学微电子研究院 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/27 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供互连线有源器件测试结构及方法，以减少测试端数量，降低测试成本；该测试结构，包括互连线结构及有源器件结构，所述互连线结构中的互连线和有源器件结构至少共用一个测试端，且共用测试端的互连线未处于回路中。 | ||
| 搜索关键词： | 互连 有源 器件 测试 结构 方法 | ||
【主权项】：
一种互连线有源器件测试结构，包括互连线结构及有源器件结构，其特征在于，所述互连线结构的互连线和有源器件结构至少共用一个测试端；且共用测试端的互连线未处于回路中。
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