[发明专利]硅片台双台交换曝光系统及双台交换方法有效
| 申请号： | 200910056279.4 | 申请日： | 2009-08-11 |
| 公开（公告）号： | CN101614964A | 公开（公告）日： | 2009-12-30 |
| 发明（设计）人： | 秦磊;王天明;刘育;袁志扬 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/677 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种硅片台双台交换曝光系统，包括基台、处于不同工位的2个硅片台、相互垂直设置的X梁和Y梁、分别对称设置于基台两侧的2个X向直线导轨和2个Y向直线导轨、及驱动与夹紧单元；X梁和Y梁沿直线导轨自由滑动，Y梁由错层结构的双侧直线导轨和连接架组成，X梁设置在连接架下方；直线导轨和双侧直线导轨在同一水平高度上；驱动与夹紧单元用于驱动并携带硅片台移动。本发明硅片台交换位置时，至少1个硅片台同时被X梁和Y梁上的驱动与夹紧单元承载，从而实现从X梁至Y梁的转移，或者从Y梁至X梁的转移。本发明流程简单，交换效率高，工位交换时硅片台没有脱离导轨，保证了其位置精度，且两硅片台也不会发生碰撞。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 台双台 交换 曝光 系统 方法 | ||
【主权项】：
1、一种硅片台双台交换曝光系统，其特征在于，包括基台，处于不同工位的2个硅片台，相互垂直设置的X梁和Y梁，分别对称设置于基台两侧的2个X向直线导轨和2个Y向直线导轨，及驱动与夹紧单元；所述X梁和Y梁的两端分别设置在所述Y向直线导轨和X向直线导轨中且能够沿直线导轨自由滑动；所述Y梁由双侧直线导轨和连接架组成，所述双侧直线导轨和连接架为错层结构，所述X梁设置在所述Y梁的连接架下方；所述2个X向直线导轨、所述2个Y向直线导轨，以及所述Y梁的双侧直线导轨在同一水平高度上；所述驱动与夹紧单元分别设置于X梁和Y梁上，用于驱动并携带硅片台移动，当所述的2个硅片台移动至一交换位置时，其中至少1个硅片台同时被X梁和Y梁上的驱动与夹紧单元承载，从而实现该硅片台从X梁至Y梁上的转移，或者从Y梁至X梁上的转移。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海微电子装备有限公司，未经上海微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200910056279.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
