[发明专利]俄歇电子能谱仪检测样品的表面处理方法有效
| 申请号： | 200910055898.1 | 申请日： | 2009-08-04 |
| 公开（公告）号： | CN101988911A | 公开（公告）日： | 2011-03-23 |
| 发明（设计）人： | 齐瑞娟 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/227 | 分类号： | G01N23/227;G01N1/28 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 20120*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明揭露了一种俄歇电子能谱仪检测样品的表面处理方法，该方法包括如下步骤：提供俄歇电子能谱仪检测样品；利用稀有气体离子溅射所述俄歇电子能谱仪检测样品表面。该方法简单实用，成本低，可快速有效的减小荷电效应，并且对需要进行组分分析的检测样品表面不会产生损坏，确保获取准确的检测样品表面组分分析结果，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 能谱仪 检测 样品 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
一种俄歇电子能谱仪检测样品的表面处理方法，包括：提供一俄歇电子能谱仪检测样品；利用稀有气体离子溅射所述俄歇电子能谱仪检测样品表面。
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