[发明专利]一种化学机械抛光工艺哑元填充的启发式方法有效
| 申请号： | 200910055285.8 | 申请日： | 2009-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN101964002A | 公开（公告）日： | 2011-02-02 |
| 发明（设计）人： | 周海;曾璇;严昌浩;陶俊;冯春阳 | 申请（专利权）人： | 复旦大学 |
| 主分类号： | G06F17/50 | 分类号： | G06F17/50 |
| 代理公司： | 上海正旦专利代理有限公司 31200 | 代理人： | 包兆宜 |
| 地址： | 20043*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明属集成电路半导体制造技术领域，提出一种化学机械抛光工艺的哑元填充的启发式方法，将最小化哑元金属数目的哑元填充问题表示成一个标准的线性规划问题，然后提出动态增加网格内哑元金属密度的启发式算法求解最小哑元填充问题。该方法在每次优化过程中根据网格密度代价函数和近似精度，动态确定向待填充网格内填充哑元金属密度的数量，同时通过近似常数ε调整每次迭代时网格内哑元金属密度的增加量，能实现最终结果精度和计算速度的折衷。本方法可行性高，处理速度极高效，其计算速度和结果精度均优于流行的Monte-Carlo方法，可用于解决大规模版图哑元填充问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 化学 机械抛光 工艺 填充 启发式 方法 | ||
【主权项】：
一种化学机械抛光工艺哑元填充的启发式方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：输入待填充的版图、给定版图金属密度的上下界、版图上允许哑元填充的可行区域以及近似精度ε；步骤2：将最小化哑元金属数目的哑元填充问题表示成标准的线性规划问题；步骤3：应用动态增加网格内哑元金属密度的启发式算法求解哑元填充问题。
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