[发明专利]防止镜片碰撞的方法及装置有效
| 申请号： | 200910052185.X | 申请日： | 2009-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN101566801A | 公开（公告）日： | 2009-10-28 |
| 发明（设计）人： | 江潮;徐文;罗闻 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种防止镜片碰撞的方法及装置，通过判断镜片的运动方向，合理安排镜片的运动顺序，从而达到防止镜片发生碰撞的效果。另外，所述防止镜片碰撞的装置还可增设探测模块来加以保障，结构简单可靠，不需要严格的机械安装条件的限制，并且不会出现误判的情况，即使在断电装调过程中也不会出现误操作导致可动镜片损毁，同时能够降低维护和修理成本。 | ||
| 搜索关键词： | 防止 镜片 碰撞 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种防止镜片碰撞的方法，应用于光刻设备的照明系统中，所述照明系统中至少包括两片相邻设置的可移动镜片，且所述的两片可移动镜片的行程之间具有交叠区域，其特征在于，所述方法包括：设置照明模式，保证在设置照明模式后所述的两片可移动镜片移动后停止的位置不会交叠，且所述的两片可移动镜片不同时移动；判断其中一片可移动镜片的移动方向；若该镜片的移动方向是背向相邻的可移动镜片的，则控制该镜片先移动，再控制相邻的可移动镜片移动；若该镜片的移动方向是朝向相邻的可移动镜片的，则控制相邻的可移动镜片先移动，再控制该镜片移动。
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