[发明专利]一种核壳结构微纳材料湿度传感器及其制备方法无效
| 申请号： | 200910050280.6 | 申请日： | 2009-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN101545883A | 公开（公告）日： | 2009-09-30 |
| 发明（设计）人： | 姚韡;陈雪皎;张健;曾龙 | 申请（专利权）人： | 华东师范大学 |
| 主分类号： | G01N27/22 | 分类号： | G01N27/22 |
| 代理公司： | 上海蓝迪专利事务所 | 代理人： | 徐筱梅 |
| 地址： | 200241*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种核壳结构微纳材料湿度传感器及其制备方法，特点是它以高分子聚合物将金属纳米颗粒整体包覆后形成一种核壳结构的微纳材料均匀涂覆于硅片表面，然后做上电极进行封装，制得核壳结构的微纳材料湿度传感器，其制备方法包括：金属纳米颗粒溶液和聚合物溶液的制备、硅片的表面处理、涂覆和封装。本发明对传感器目标量敏感的材料选择性广泛，原材料易得，与现有技术相比具有方法简单，操作方便，生产成本较低，对环境无污染，而且传感器的电学特性能大大提高，集成度高，体积小的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结构 材料 湿度 传感器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1、一种核壳结构微纳材料湿度传感器，其特征在于以高分子聚合物将金属纳米颗粒整体包覆后形成一种核壳结构的微纳材料均匀涂覆于硅片表面，然后做上电极进行封装，制得核壳结构的微纳材料湿度传感器。
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