[发明专利]一种校准标记位置的装置及方法有效
| 申请号： | 200910047952.8 | 申请日： | 2009-03-20 |
| 公开（公告）号： | CN101520613A | 公开（公告）日： | 2009-09-02 |
| 发明（设计）人： | 朱健;孙刚 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所 | 代理人： | 屈 蘅;李时云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种校准标记位置的装置与方法，用于获取标记相对于参考光栅的旋转量。该校准标记位置的装置包括：第一采集单元以及图像处理单元。第一采集单元用于采集并输出所述标记的静态图像数据。图像处理单元耦接第一采集单元，并且包括存储单元以及计算单元。存储单元，用于接收静态图像数据，并将所述标记的静态图像数据转化为数字信号。计算单元耦接存储单元，接收所述数字信号以进行计算，得到旋转量。该校准标记位置的装置及方法，可以减少由于实际标记与硅片存在旋转导致的偏差，提高了测量精度，同时省去测量硅片旋转、然后再摆正或修正的步骤，提高了生产效率，增加了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 校准 标记 位置 装置 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种校准标记位置的装置，用于获取标记相对于参考光栅的旋转量，其特征在于，包括：第一采集单元，用于采集并输出所述标记的静态图像数据；以及图像处理单元，耦接所述第一采集单元，包括：存储单元，用于接收所述标记的静态图像数据，并将所述标记的静态图像数据转化为数字信号；以及计算单元，耦接所述存储单元，接收所述数字信号以进行计算，得到所述旋转量。
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