[发明专利]电泳沉积和溶胶-凝胶相结合制备铁电-铁磁复合厚膜的方法

摘要

本发明涉及电子材料与器件领域，公开了一种电泳沉积和溶胶-凝胶相结合制备铁电-铁磁复合厚膜的方法。本发明的制备方法包括如下步骤：首先通过电泳沉积方法制备一定厚度的铁酸钴厚膜，再用溶胶凝胶方法涂覆BaTiO₃薄膜后经高温热处理制得。本发明的方法制备的铁电-铁磁厚膜具有良好的电性能和磁性能，可以应用于制备厚膜传感器、微位移器、反馈系统等。

主权项

1、一种电泳沉积和溶胶-凝胶相结合制备铁电-铁磁复合厚膜的方法，包括如下步骤：1)将铁酸钴粉体加入到分散溶剂中搅拌并超声分散，制成浓度均匀的悬浮液；2)将电极放置在分散好的溶剂中，保持两极板平行；3)在恒电场条件下，电泳沉积后获得铁酸钴厚膜；4)将电泳完毕后所得铁酸钴厚膜进行等静压处理；5)将经过等静压处理的铁酸钴厚膜在600℃-700℃的环境下热处理30-60分钟；6)将醋酸钡在冰醋酸溶液中加热至沸腾，待冷却至室温时，再加入钛酸四正丁酯和乙酰丙酮的混合溶液，形成BaTiO3溶液，用冰醋酸调整使得溶液中BaTiO3的摩尔浓度至0.10～0.30M，放置20-30小时后形成前驱体溶胶；7)将步骤6)中获得的溶胶通过旋转涂覆的方法在步骤5)中制备的铁酸钴厚膜上制成凝胶膜；8)涂覆好的凝胶膜通过热处理制得铁电-铁磁复合厚膜。