[发明专利]干涉仪主镜调整机构及其制备方法

摘要

一种干涉仪主镜调整机构及其制备方法，该干涉仪主镜调整机构由螺纹套筒、调节凸台、N个调节螺栓、N个球面垫圈、N个弹簧垫圈、N个螺钉、主镜和主镜镜框构成，其中N为2以上的正整数：本发明是高精度、高稳定性两维角度调整机构，不需要对主镜进行修配，通过简单的调整，即可解决了主镜球心像光轴与棱镜组光轴在同一理想光轴上的拟合，是实现高精度干涉测量必备条件。本发明具有结构简单、安装调整方便、制造成本低和稳定性高的特点，适用于各类干涉仪主镜的安装调整，也适用于其他装置中透镜的调整与安装。

主权项

1、一种干涉仪主镜调整机构，其特征在于：该机构由螺纹套筒(101)、调节凸台(102)、N个调节螺栓(103)、N个球面垫圈(104)、N个弹簧垫圈(105)、N个螺钉(106)、主镜(107)和主镜镜框(108)构成，其中N为2以上的正整数：所述的螺纹套筒(101)是一段一定壁厚的圆筒，该圆筒的内壁具有内螺纹，外圆面沿圆周方向均匀地分布N个完全相同的长腰槽形通孔(101-1)；所述的调节凸台(102)由N块圆弧形的调节块构成，每一调节块的外圆面具有与所述的螺纹套筒(101)的内螺纹相匹配的外螺纹，在该外螺纹圆面上离右端一定距离有一个垂直于轴线的螺纹通孔(102-1)，在该调节块右端面有一个沿轴向的螺纹沉孔(102-2)；所述的主镜镜框(108)是具有主镜(107)安装结构和主镜通光孔的框座，在所述的主镜镜框(108)边框上的一个以该主镜镜框主镜通光孔的对称轴为圆心的圆周上并沿该圆周均匀地分布着N个短腰槽形通孔(108—1)；所述的主镜(107)安装并固定在所述的主镜镜框(108)中，N个固定螺钉(106)分别通过所述的主镜镜框(108)的N个短腰槽形通孔(108—1)拧入所述的调节凸台(102)的N块圆弧形的调节块端面的螺纹沉孔(102-2)将所述的N块圆弧形的调节块与所述的调节凸台(102)形成一体，所述的调节凸台(102)的外螺纹与所述的螺纹套筒(101)的内螺纹相互嵌套，N个调节螺栓(103)依次套入弹簧垫圈(105)和球面垫圈(104)后，通过所述的长腰槽形通孔(101-1)并拧入所述的螺纹通孔(102-1)中。