[发明专利]一种静电力显微镜及其测量方法

摘要

本发明提供了一种静电显微镜及其测量方法，静电显微镜由扫描头、低频电压信号发生器、高频电压信号发生器、低频振动信号检测器、高频振动信号检测器、控制器组成，所述扫描头包括探针、探针位置感应器、压电激振器、压电扫描器；本发明在已有静电力显微镜基础上，利用探针的较高次本征振动模式来测量静电力。由于不同的振动模式中，探针和样品的相互作用有所不同，其相应的性能也会存在差异，如在分辨率、灵敏度和稳定性等方面。本发明能显著提高大气环境下的静电力显微镜的空间分辨率。

主权项

1、一种静电力显微镜，其特征在于由扫描头(1)、低频电压信号发生器(2)、高频电压信号发生器(3)、低频振动信号检测器(4)、高频振动信号检测器(5)、控制器(6)组成，所述扫描头(1)包括导电微悬臂探针(1-1)、探针位置感应器(1-2)、压电激振器(1-3)、压电扫描器(1-5)；所述低频电压信号发生器(2)与压电激振器(1-3)连接并提供电压信号激发探针(1-1)振动，所述高频电压信号发生器(3)分别与探针(1-1)和位于压电扫描器(1-5)之上的测量样品(1-4)相连接并向它们提供电压信号，所述探针位置感应器(1-2)分别与低频振动信号检测器(4)和高频振动信号检测器(5)连接，以传送其感应到的探针(1-1)的振动信息，所述低频振动信号检测器(4)和高频振动信号检测器(5)分别与控制器(6)连接，所述控制器(6)与压电扫描器(1-5)连接并通过输出电压信号控制压电扫描器(1-5)的运作。