[发明专利]多晶硅酸蚀化学绒面制备添加剂无效
| 申请号： | 200910032771.8 | 申请日： | 2009-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN101586239A | 公开（公告）日： | 2009-11-25 |
| 发明（设计）人： | 马跃;杨雷;王玉亭;戴燕华;张薛丹 | 申请（专利权）人： | 江苏林洋新能源有限公司;江苏林洋太阳能电池及应用工程技术研究中心有限公司 |
| 主分类号： | C23F1/24 | 分类号： | C23F1/24 |
| 代理公司： | 南通市永通专利事务所 | 代理人： | 葛 雷 |
| 地址： | 226200江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多晶硅酸蚀化学绒面制备添加剂，包括酸性腐蚀液，在酸性腐蚀液中加有含氮无机盐、硅基表面活性剂。本发明使多晶硅片腐蚀的颜色均匀一致，减薄量符合要求，无针孔，无网纹，无明显色差的多晶硅绒面。在多晶硅制绒面后表面上制备氮化硅薄膜，用肉眼观察无明显的晶粒间界。 | ||
| 搜索关键词： | 多晶 硅酸 化学 制备 添加剂 | ||
【主权项】：
1、一种多晶硅酸蚀化学绒面制备添加剂，包括酸性腐蚀液，其特征是：在酸性腐蚀液中加有下列体积百分比的成分：(1)含氮无机盐：0.1～2％(2)硅基表面活性剂：0.1～0.5％所述体积百分比是相对于酸性腐蚀液的体积而言。
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