[发明专利]一种三维微力测量装置无效
申请号: | 200910023227.7 | 申请日: | 2009-07-07 |
公开(公告)号: | CN101710006A | 公开(公告)日: | 2010-05-19 |
发明(设计)人: | 赵玉龙;王伟忠;林启敬;蒋庄德 | 申请(专利权)人: | 西安交通大学 |
主分类号: | G01L1/22 | 分类号: | G01L1/22 |
代理公司: | 西安智大知识产权代理事务所 61215 | 代理人: | 弋才富 |
地址: | 710049*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 一种三维微力测量装置,包括一减震平台3,减震平台3上固定有电控三维位移平台1与载物台2,并将压电陶瓷位移平台4固定在电控三维位移平台1的Z轴上,硅微三维微力传感器6固定在压电陶瓷平台4上,硅微三维微力传感器6的惠斯通电桥12将电压信号输出至放大运算电路13,电压信号经放大运算电路13放大后输入到数字显示模块14中,可以同时进行μN级三维微力的测量,具有精度高、灵敏度高、线性好的特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 三维 测量 装置 | ||
【主权项】:
一种三维微力测量装置,包括一减震平台(3),在减震平台(3上相距一定位置分别固定有电控三维位移平台(1)与载物台(2),其特征是,将压电陶瓷位移平台(4)固定在电控三维位移平台(1)的Z轴上,硅微三维微力传感器(6)固定在压电陶瓷平台(4)上;硅微三维微力传感器(6)的惠斯通电桥(12)将电压信号输出至放大运算电路(13),电压信号经放大运算电路(13)放大后输入到数字显示模块(14)中。
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