[发明专利]提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺

摘要

本发明公开了一种提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺，其利用三塔连续精馏提纯三氯氢硅和四氯化硅，将两塔设置改为三塔连续，通过调整工艺条件，使1#精馏塔塔顶气相采出为高纯三氯氢硅，液相采出为含少量三氯氢硅的四氯化硅溶液，该溶液进入2#精馏塔；2#塔塔顶将剩余的三氯氢硅和少量四氯化硅气相采出，冷凝后重回合成液中间罐，2#塔液相采出的四氯化硅和高沸硅烷进入3#精馏塔；3#塔对四氯化硅和高沸硅烷进行提纯，塔顶即为高纯的四氯化硅。本发明的工艺对产品收率、质量、应用及收益都有提高，且生产控制非常稳定，人员劳动强度大幅下降。

主权项

1、一种提纯三氯氢硅和四氯化硅的工艺，其包括下列内容：a、合成液储罐、1#精馏塔、2#精馏塔、3#精馏塔及其各自附属设备通过相应管线顺序连接在一起，储罐及各塔塔内的压力设定为依次降低；三氯氢硅原料液在压差作用下自合成液储罐中首先进入1#精馏塔，塔顶气相采出物经蒸馏、冷凝、回流后，采出高纯三氯氢硅至储罐；b、1#精馏塔塔底液相采出的溶液在压差作用下进入2#精馏塔，2#塔塔顶气相采出物经蒸馏、冷凝、回流后得到混有少量四氯化硅的三氯氢硅液体，将该液体重回合成液储罐；c、2#塔液相采出的溶液在压差作用下进入3#精馏塔，塔顶气相采出物经蒸馏、冷凝、回流后，采出高纯四氯化硅至储罐；塔底液相采出至废液储罐或按规定排放。