[发明专利]微机电装置及用以制造微机电装置的方法无效
| 申请号： | 200910002944.1 | 申请日： | 2009-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN101497423A | 公开（公告）日： | 2009-08-05 |
| 发明（设计）人： | 徐曾洋 | 申请（专利权）人： | 稳银科技控股公司 |
| 主分类号： | B81C5/00 | 分类号： | B81C5/00;B81B7/00;G12B21/02 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 任永武 |
| 地址： | 台湾省台北市松山*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是关于一种用以制造微机电(micro-electro-mechanical system，MEMS)装置的方法。该方法包含：将一导入遮罩放在一应用平台上，该导入遮罩包含一导入缺口，用以限定一MEMS零件欲置于该应用平台上的位置。该方法还包含将该MEMS零件置入该应用平台上该导入遮罩内的该导入缺口，以及在该微机电零件与该应用平台完成接合后，从该应用平台上移出该导入遮罩。 | ||
| 搜索关键词： | 微机 装置 用以 制造 方法 | ||
【主权项】：
1. 一种用以制造微机电装置的方法，包含：将一导入遮罩放在一应用平台上，该导入遮罩包含一导入缺口用以限定该应用平台上一微机电零件的位置；将该微机电零件置入该应用平台上该导入遮罩内的该导入缺口；以及在该微机电零件与该应用平台完成接合后，从该应用平台上移出该导入遮罩。
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