[发明专利]一种慢波结构制造的工艺方法无效
申请号: | 200910000743.8 | 申请日: | 2009-01-09 |
公开(公告)号: | CN101459020A | 公开(公告)日: | 2009-06-17 |
发明(设计)人: | 吴华夏;方卫;邓清东;侯信磊;赵艳珩;李荣;任振国;卢希跃 | 申请(专利权)人: | 安徽华东光电技术研究所 |
主分类号: | H01J9/00 | 分类号: | H01J9/00 |
代理公司: | 信息产业部电子专利中心 | 代理人: | 李勤媛 |
地址: | 241002安徽省芜*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | 一种慢波结构制造的工艺方法,属于真空电子器件领域,该方法包括慢波结构的零件检验、清洗、装配和钎焊,装配和钎焊过程按以下步骤操作:将慢波结构的零件,用真空蒸发的方式进行表面镀银,镀银的厚度控制在1微米范围内;进行慢波结构的对中装配;在氢炉内850℃温度下进行焊接;在焊好的慢波结构外套上金属管壳。本制造慢波的方法,整体对中性能好,真空气密性高,机械牢固性强,节约成本,降低装配难度,提高合格率。 | ||
搜索关键词: | 一种 结构 制造 工艺 方法 | ||
【主权项】:
1. 一种慢波结构制造的工艺方法,包括慢波结构的零件检验、清洗、装配和钎焊,其特征在于,装配和钎焊过程按以下步骤操作:a.将慢波结构的零件,用真空蒸发的方式进行表面镀银,镀银的厚度控制在1微米范围内;b.进行慢波结构的对中装配;c.在氢炉内850°C温度下进行焊接;d.在焊好的慢波结构外套上金属管壳。
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