[发明专利]感光性树脂层压体

摘要

本发明提供一种感光性树脂层压体，感光性树脂层的厚度即便薄至3～15μm时，即便以直接描绘曝光进行曝光时，盖孔性也良好，另外，显影时的聚集物不是油状的。所述感光性树脂层压体为至少层压支撑层和感光性树脂层而成的，该感光性树脂层使用由感光性树脂组合物形成的感光性树脂层压体，该感光性树脂组合物的特征在于，其至少包括：(a)碱可溶性树脂25～64质量％、(b)可光聚合的具有不饱和双键的化合物、(c)光聚合引发剂0.1～20质量％，并且进一步满足以下(i)、(ii)和(iii)：(i)相对于感光性树脂组合物的总量，含有30～55质量％的特定的可光聚合的不饱和化合物；(ii)所述(a)碱可溶性树脂的重均分子量为70000～220000、酸当量为100～600；(iii)感光性树脂层的厚度为3～15μm。

主权项

1.一种感光性树脂层压体，其特征在于，其为至少层压支撑层和感光性树脂层而成的感光性树脂层压体，该感光性树脂层由感光性树脂组合物形成，该感光性树脂组合物至少包括：(a)碱可溶性树脂25～64质量％、(b)可光聚合的具有不饱和双键的化合物、(c)光聚合引发剂0.1～20质量％，并且进一步满足以下(i)、(ii)和(iii)：(i)作为所述(b)可光聚合的具有不饱和双键的化合物，相对于感光性树脂组合物的总量，含有30～55质量％的选自由下述通式(I)表示的化合物和下述通式(II)表示的化合物组成的组中的至少一种可光聚合的不饱和化合物；(ii)所述(a)碱可溶性树脂的重均分子量为70000～220000、酸当量为100～600；(iii)感光性树脂层的厚度为3～15μm，[化学式1]式中，R₁、R₂和R₃各自独立地为H或者CH₃，n₁、n₂、n₃和n₄各自独立地为0～4的整数，也可以同时为0，W为以CH₃或者OH表示的基团，[化学式2]式中，R₅、R₆、R₇和R₈各自独立地为H或者CH₃，m₁、m₂、m₃和m₄各自独立地为0～4的整数，也可以同时为0。