[发明专利]用于实现两个导电层之间的电互连的方法有效
| 申请号： | 200880118775.1 | 申请日： | 2008-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN101884258A | 公开（公告）日： | 2010-11-10 |
| 发明（设计）人： | 让-马里·韦里亚克;雅克利娜·巴布莱;塞西尔·博里 | 申请（专利权）人： | 原子能与替代能源委员会 |
| 主分类号： | H05K3/46 | 分类号： | H05K3/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李春晖;李德山 |
| 地址： | 法国*** | 国省代码： | 法国;FR |
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| 摘要： | 本发明涉及用于在被至少一个绝缘或半导体层(4)分隔的两个导电层(2，5)之间实现电互连的方法，该方法包括形成至少在下导电层(2)与上导电层(5)之间延伸的柱(3)，其中所述柱的性质和/或形状使所述柱相对于构成分隔层(4)的材料具有不可浸润性。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 实现 两个 导电 之间 互连 方法 | ||
【主权项】：
一种用于在被称为分隔层的至少一个绝缘或半导体层(4)分隔的两个导电层(2，5)之间实现电互连的方法，其特征在于包括：在制成或者沉积所述分隔层(4)之前形成至少在下导电层(2)与上导电层(5)的附近之间延伸的柱(3)，其中所述柱和至少其外表面的组成材料被选择为提供如下所述的在固态下的表面张力：所述材料在固态下与所述分隔层在液态下的表面张力的比小于或者等于7。
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