[发明专利]微细结构体检测装置以及微细结构体检测方法无效
| 申请号： | 200880117854.0 | 申请日： | 2008-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN101874203A | 公开（公告）日： | 2010-10-27 |
| 发明（设计）人： | 林圣人 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | G01N29/12 | 分类号： | G01N29/12;G01N29/00 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 柳春雷;南霆 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明涉及一种测量微细结构体的可动部的衰减特性值的微细结构体检测装置(10)，所述装置包括：不与所述微细结构体直接接触的压力波产生装置(1)以及脉冲产生装置(2)、不与所述可动部接触并且在可动部开始自由振动之后的预定时间的期间内测量可动部的位移的位移计(4)。压力波产生装置(1)由热激励式的声波产生元件、压电式的声波产生元件或者电磁式的振动元件构成，并被脉冲产生装置(2)的脉冲信号驱动。优选的是，使用了热激励式的声波产生元件的压力波产生装置(1)包括：热传导性的衬底；在该衬底的一个主面上用纳米晶体硅形成的隔热层；形成在该隔热层之上的绝缘体层；以及导体层，其形成在该绝缘体层之上，并且被施加包含交流分量的电流而发热。 | ||
| 搜索关键词： | 微细 结构 体检 装置 以及 方法 | ||
【主权项】：
一种微细结构体检测装置，用于测量微细结构体的可动部的衰减特性值，所述微细结构体检测装置包括：冲击单元，利用不与所述微细结构体直接接触的压力波产生装置，对所述可动部施加冲击；以及测量单元，不与所述可动部接触，在所述可动部开始自由振动之后的预定时间的期间内测量所述可动部的位移。
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