[发明专利]填充装置

摘要

本发明提供一种减小过滤抗蚀剂液的过滤器14前后压力变动的填充装置。该装置具备：存积有抗蚀剂液的填充液罐2、通过供给泵10将从该填充液罐2送出的抗蚀剂液输送至填充喷嘴8的填充液通路4、从填充液通路4中途的分支部18分支出并连通至填充液罐2的回收通路16、设置在比填充液通路4的分支部18更下游侧(填充液通路4的下游部4B)的填充阀12、设置在回收通路16上的回收阀20、设置在上述泵10和分支部18之间的过滤器14、分别驱动填充阀12和回收阀20的伺服电机、控制伺服电机以调整填充阀12和回收阀20的开度的控制装置24；并且该装置控制回收阀20的开度，以使过滤器14的上游侧和下游侧的压力不变动。

主权项

一种填充装置，其特征在于：该装置具备：存积有填充液的填充液罐、连通该填充液罐和填充喷嘴的填充液通路、从该填充液通路分支出并使填充液回流到所述填充液罐中的回收通路、设置在比所述填充液通路与回收通路的分支部更下游侧的填充阀、设置在所述回收通路中的回收阀、设置在填充液通路中并输送填充液罐内的填充液的供给泵、设置在填充液通路的供给泵与所述分支部之间的过滤器、分别设置在所述填充阀和回收阀中并调整各阀的开度的驱动设备、控制这些驱动设备的控制设备；所述控制设备控制所述回收阀的开度，以使所述过滤器的上游侧压力和下游侧压力在填充动作中不根据所述填充阀的开闭动作而变动。