[发明专利]扩散粘结

摘要

一种形成部件的方法，该部件包括扩散粘结起来的第一元件和第二元件。第一元件为压力元件，包括第一粘结区域表面。第二元件为吸入元件，包括第二粘结区域表面。心轴包括第一表面和第二表面，第一表面具有与第一元件的至少一部分相配合的轮廓，第二表面具有与第二元件的至少一部分相配合的轮廓。第一和第二元件放置在心轴上，从而第一粘结区域表面和第二粘结区域表面配合邻接。第一、第二元件连同心轴一起放置在模具组件内。模具组件包括第一模具、第二模具以及多个紧固零件，多个紧固零件用于可释放地将第一模具固定到第二模具上。

主权项

一种形成部件的方法，所述部件包括第一元件和第二元件，且所述第一元件和第二元件被扩散粘结在一起，所述方法包括：提供所述第一元件，所述第一元件被构造成压力元件，并且所述第一元件包括第一粘结区域表面；提供独立的所述第二元件，所述第二元件被构造成吸入元件，并且所述第二元件包括第二粘结区域表面；提供心轴，所述心轴包括第一表面和第二表面，所述第一表面具有与所述第一元件的至少一部分相配合的轮廓，所述第二表面具有与所述第二元件的至少一部分相配合的轮廓；将所述第一元件和所述第二元件放置在所述心轴上，从而所述第一粘结区域表面和所述第二粘结区域表面配合邻接；可释放地将所述第一元件与所述第二元件连接；将连接起来的所述第一元件和所述第二元件连同所述心轴一起放置在模具组件内，所述模具组件包括第一模具、第二模具以及多个紧固零件，所述紧固零件用于将所述第一模具和所述第二模具可释放地紧固在一起，所述第一模具和所述第二模具由第一材料形成，所述第一材料具有第一热膨胀系数，所述紧固零件由第二材料形成，所述第二材料具有较小的第二热膨胀系数；将模具组件放置在真空炉内，用于扩散粘结循环；将所述真空炉抽空；将所述真空炉的温度提高到预定温度；将均匀压力施加到所述第一、第二元件的所述第一、第二粘结区域表面之间的界面；保持所述真空炉内的真空水平、温度和压力，并持续一段预定时间；以及从所述真空炉内移除所述模具组件，其中所述模具组件包括已经扩散粘结的所述第一元件和所述第二元件。