[发明专利]表面测量方法和测量仪有效
| 申请号： | 200880106757.1 | 申请日： | 2008-08-22 |
| 公开（公告）号： | CN101802542A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | 克努特·西尔克斯;托马斯·延森;克劳斯·施奈德 | 申请（专利权）人： | 莱卡地球系统公开股份有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/00 | 分类号： | G01B11/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 史敬久 |
| 地址： | 瑞士海*** | 国省代码： | 瑞士;CH |
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| 摘要： | 在表面(7″)测量的一种方法中，产生调频激光束，发射作为测量光(MS)的所述激光束至所述表面，接收由所述表面(7″)散射回的测量光(MS)，并且干涉式地测量从基准点至所述表面(7″)的距离，其中，所述测量光(MS)在扫描经过待测表面时被发射和接收，并且使用了具有部分共光路的测量干涉仪臂和基准干涉仪臂，所述测量光(MS)基本垂直入射所述表面(7″)的偏差在距离测量时在算法上被考虑，和/或在探测引导期间通过控制所述测量光(MS)的发射来避免或者减小上述偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 测量方法 测量仪 | ||
【主权项】：
一种测量表面(7、7′、7″、7′″)且尤其是测量工业用工件的表面的方法，所述方法至少包括：产生相干长度超过1毫米尤其是超过60毫米的调频激光束；向所述表面发射作为测量光(MS)的所述激光束；接收从所述表面(7、7′、7″、7′″)散射回的测量光(MS)；以及利用一测量干涉仪臂和一基准干涉仪臂来干涉式地测量从基准点至所述表面(7、7′、7″、7′″)的距离，其中，所述测量光(MS)在探测移动经过待测表面的过程中被发射和接收，并且在干涉式地测量距离时，所述测量干涉仪臂和基准干涉仪臂具有部分共同的光路，尤其是具有限定基准干涉仪臂且位于激光束发射用的光束形成光学系统中的基准面，所述方法的特征是，在测量距离时在算法中考虑所述测量光(MS)在所述表面(7、7′、7″、7′″)上的偏离基本垂直入射的偏差并且/或者在扫描移动时通过控制所述测量光(MS)的发射来避免或者减小所述偏差。
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