[发明专利]在流通式等离子反应器中生产IV族元素纳米颗粒的方法和装置有效
| 申请号： | 200880106420.0 | 申请日： | 2008-05-01 |
| 公开（公告）号： | CN101801518A | 公开（公告）日： | 2010-08-11 |
| 发明（设计）人： | X·李;C·阿尔肯塔拉;M·克尔曼;E·罗戈吉纳;E·希夫;M·特里;K·范霍伊斯登 | 申请（专利权）人： | 创新发光体公司 |
| 主分类号： | B01J12/00 | 分类号： | B01J12/00;B01J19/08;C01B33/029;H01J37/32 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 刘锴;韦欣华 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了用于由前体气体生产IV族元素半导体纳米颗粒的集合的等离子处理装置。装置包括外介电管，外管包括外管内表面和外管外表面，其中外管内表面具有外管内表面蚀刻速率。装置还包括内介电管，内介电管包括内管外表面，其中外管内表面和内管外表面限定出环形通道，而且其中内管外表面具有内管外表面蚀刻速率。装置还包括第一外电极，第一外电极具有布置在外管外表面上的第一外电极内表面。装置还包括第一中心电极，第一中心电极被布置在内介电管内部，第一中心电极还被设计成在第一RF能量源施加到第一外电极和第一中心电极中一个时被连接到第一外电极上；和在第一外电极和中心电极之间限定的第一反应区。 | ||
| 搜索关键词： | 流通 等离子 反应器 生产 iv 元素 纳米 颗粒 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种等离子处理装置，包括：外介电管，外介电管包括外管内表面和外管外表面，其中外管内表面具有外管内表面蚀刻速率；内介电管，内介电管包括内管外表面，其中外管内表面和内管外表面限定出环形通道，而且其中内管外表面具有内管外表面蚀刻速率；第一外电极，第一外电极具有布置在外管外表面上的第一外电极内表面；第一中心电极，第一中心电极被布置在内介电管内部，第一中心电极还被设计成在第一RF能量源施加到第一外电极和第一中心电极中一个时被连接到第一外电极上；在第一外电极和第一中心电极之间限定的第一反应区。
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