[发明专利]具有与机械及电功能分离的光学功能的微机电装置无效
| 申请号： | 200880022893.2 | 申请日： | 2008-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN101688975A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 丹尼斯·恩迪施;马克·米尼亚尔 | 申请（专利权）人： | 高通MEMS科技公司 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81B3/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 刘国伟 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种微机电(MEMS)装置(800)，其包括具有顶表面(88)的衬底(20)、在所述衬底(20)上的可移动元件(810)及激活电极(82)。所述可移动元件(810)包括可变形层(34)及以机械方式耦合到所述可变形层(34)的反射元件(814)。所述反射元件(814)包含反射表面(92)。所述激活电极(82)与所述反射表面(92)横向地安置。所述可移动元件(810)通过在大体垂直于所述衬底(20)的所述顶表面(88)的方向上移动来对施加于所述激活电极(82)与所述可移动元件(810)之间的电压差作出响应。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 机械 功能 分离 光学 微机 装置 | ||
【主权项】：
1.一种微机电(MEMS)装置，其包括：衬底，其具有顶表面；可移动元件，其在所述衬底上，所述可移动元件包括可变形层及以机械方式耦合到所述可变形层的反射元件，所述反射元件包含反射表面；以及激活电极，其与所述反射表面横向地安置，所述可移动元件通过在大体垂直于所述衬底的所述顶表面的方向上移动来对施加于所述激活电极与所述可移动元件之间的电压差作出响应。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于高通MEMS科技公司，未经高通MEMS科技公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200880022893.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：眼镜框用的紧凑的弹性铰链
- 下一篇：观察装置和方法
