[发明专利]观察装置和方法有效
| 申请号： | 200880021192.7 | 申请日： | 2008-06-13 |
| 公开（公告）号： | CN101688971A | 公开（公告）日： | 2010-03-31 |
| 发明（设计）人： | 寺田浩敏;田边浩 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙 淳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在进行半导体组件(11)的观察的情况下，首先，如果检测出固体浸没透镜(6)接触于半导体组件(11)，则通过振动发生部使固体浸没透镜(6)振动。接着，输入来自固体浸没透镜(6)的反射光像，算出反射光像的反射光量(m)，并判断该反射光量(m)对入射光量(n)的比率(m/n)是否没有超过阈值(A)。在比率(m/n)超过阈值(A)时，判断为未获得固体浸没透镜(6)和半导体组件(11)的光学紧贴，再次使固体浸没透镜(6)振动。在比率(m/n)没有超过阈值(A)时，判断为获得固体浸没透镜(6)和半导体组件(11)的光学紧贴，取得半导体组件(11)的观察图像。于是，实现了能够提高固体浸没透镜和观察对象物的紧贴性的观察装置和方法。 | ||
| 搜索关键词： | 观察 装置 方法 | ||
【主权项】：
1.一种观察装置，其特征在于，具备，显微镜，其具有包括物镜的光学系统，将观察对象物放大而进行观察；固体浸没透镜保持器，其保持被配置于所述物镜的光轴上的固体浸没透镜；以及振动发生机构，其使被保持于所述固体浸没透镜保持器上的所述固体浸没透镜振动。
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