[发明专利]处理玻璃衬底表面的方法无效
| 申请号： | 200880019204.2 | 申请日： | 2008-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN101679097A | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 冈村研治;伊藤正文 | 申请（专利权）人： | 旭硝子株式会社 |
| 主分类号： | C03B19/14 | 分类号： | C03B19/14;C03C15/00;C03C15/02;C03C19/00;C03C23/00 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 陈海涛;樊卫民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明是提供处理整个玻璃衬底表面以使得表面具有优异的平坦度和表面粗糙度的方法。本发明提供使用处理技术来处理玻璃衬底表面的方法，所述处理技术选自离子束腐蚀、气体簇离子束腐蚀、等离子体腐蚀和纳米磨蚀，其中在对所述玻璃衬底表面进行处理之前，沿所述玻璃衬底的周围设置框架部件，所述框架部件满足下列(1)和(2)：(1)所述框架部件的高度和所述玻璃衬底表面的高度之差为1mm以下；以及(2)所述框架部件的宽度不小于在所述处理技术中使用的离子束直径或激光直径的一半。 | ||
| 搜索关键词： | 处理 玻璃 衬底 表面 方法 | ||
【主权项】：
1.一种通过处理技术来处理玻璃衬底表面的方法，所述处理技术选自离子束腐蚀、气体簇离子束腐蚀、等离子体腐蚀和纳米磨蚀，其中在对所述玻璃衬底表面进行处理之前，沿所述玻璃衬底的周围设置框架部件，所述框架部件满足下列要求(1)和(2)：(1)所述框架部件的高度和所述玻璃衬底表面的高度之差为1mm以下；以及(2)所述框架部件的宽度不小于在所述处理技术中使用的离子束直径或激光直径的一半。
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