[发明专利]抗蚀剂剥离剂组合物

摘要

本发明提供：在使用温度下为液体、较难使铜等金属腐蚀、并且容易过滤而易于再次利用的抗蚀剂剥离剂组合物。本发明的抗蚀剂剥离剂组合物的特征在于，含有具有3～6元环的环状酯(碳酸亚乙酯、碳酸亚丙酯等)、具有低级烷基的酮类(丙酮、甲基乙基酮等)、及特定的亚烷基二醇单烷基醚类(乙二醇单乙基醚、二乙二醇单丁基醚等)中的一种、与特定的环状酰胺类(N-甲基-2-吡咯烷酮等)或特定的直链状酰胺类(N，N-二甲基乙酰胺、N，N-二乙基乙酰胺等)的混合物。

主权项

1、抗蚀剂剥离剂组合物，其特征在于，含有具有3～6元环的环状酯；下式(1)表示的化合物、下式(2)表示的化合物及下式(3)表示的化合物中的一种；与下式(4)表示的化合物或下式(5)表示的化合物的混合物，[化1]式(1)中，R₁及R₂表示碳原子数4以下的烷基，[化2]式(2)中，R₃及R₄中的任一个为氢原子，另一个表示碳原子数4以下的烷基，[化3]式(3)中，R₅～R₇表示氢原子或者碳原子数2以下的烷基，R₈表示碳原子数3以下的亚烷基，[化4]式(4)中，R₉表示氢原子或者碳原子数3以下的烷基，[化5]式(5)中，R₁₀表示氢原子或者碳原子数3以下的烷基，R₁₁及R₁₂分别表示碳原子数3以下的烷基。