[发明专利]形成模板的方法，图案化衬底的方法和用于所述方法的模板和图案化系统有效
| 申请号： | 200880012252.9 | 申请日： | 2008-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101657757A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 丹·B·米尔沃德 | 申请（专利权）人： | 美光科技公司 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 沈锦华 |
| 地址： | 美国爱*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明揭示一种图案化衬底的方法。将墨水材料化学吸附到模板的至少一个区域上且将化学吸附的墨水材料转移到受体衬底上。所述墨水材料对所述受体衬底的化学亲和力大于对所述模板的至少一个区域的化学亲和力。本发明还揭示一种形成模板的方法，以及所述模板和一种图案化系统。 | ||
| 搜索关键词： | 形成 模板 方法 图案 衬底 用于 系统 | ||
【主权项】：
1.一种模板，其包含模板衬底和至少一个在所述模板衬底上界定图案的化学差异区域，所述至少一个化学差异区域对至少一种墨水材料具有化学亲和力。
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