[发明专利]旋涂机、其温度控制方法、光盘生产设备以及光盘生产方法有效
| 申请号： | 200880011816.7 | 申请日： | 2008-04-01 |
| 公开（公告）号： | CN101657854A | 公开（公告）日： | 2010-02-24 |
| 发明（设计）人： | 田嶋行利 | 申请（专利权）人： | 株式会社理光 |
| 主分类号： | G11B7/26 | 分类号： | G11B7/26 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 赵蓉民 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供旋涂机，其包括旋转地支持盘基底的旋转工作台、围绕被支持在旋转工作台上的盘基底外圆周的旋杯、配置来将紫外固化树脂组合物下落至盘基底表面上的落液部件、配置来通过旋转工作台旋转盘基底以将紫外固化树脂组合物铺展于盘基底表面上的旋转部件、配置来加热在盘基底上的紫外固化树脂组合物的加热部件以及配置来控制旋杯达到温度以使温度在多次旋涂过程中恒定的温度控制部件，该温度每次在紫外固化树脂组合物铺展时通过加热部件升高。 | ||
| 搜索关键词： | 旋涂机 温度 控制 方法 光盘 生产 设备 以及 | ||
【主权项】：
1.一种旋涂机，其包括：旋转地支持盘基底的旋转工作台，围绕被支持在所述旋转工作台上的所述盘基底的外圆周的旋杯，配置来将紫外固化树脂组合物下落至所述盘基底的表面上的落液部件，配置来通过所述旋转工作台旋转所述盘基底以将所述紫外固化树脂组合物铺展于所述盘基底的表面上的旋转部件，配置来加热在所述盘基底上的所述紫外固化树脂组合物的加热部件，以及配置来控制所述旋杯的达到温度以使温度在多次旋涂过程中恒定的温度控制部件，所述温度每次在所述紫外固化树脂组合物铺展时通过所述加热部件升高。
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