[发明专利]有源矩阵基板有效
| 申请号: | 200880008589.2 | 申请日: | 2008-02-29 |
| 公开(公告)号: | CN101636828A | 公开(公告)日: | 2010-01-27 |
| 发明(设计)人: | 喜多诚;中岛睦;守屋由瑞;海瀬泰佳 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
| 主分类号: | H01L21/336 | 分类号: | H01L21/336;G02F1/1368;G09F9/30;H01L21/20;H01L21/322;H01L29/786 |
| 代理公司: | 北京尚诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 龙 淳 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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| 摘要: | 本发明提供一种有源矩阵基板。在本发明的有源矩阵基板(100)中,令使以最短距离连接沟道区域(134)和吸杂区域(112)的线段投影在连接TFT(130)的沟道区域(134)和源极接触部的直线上的长度为d1,令从沟道区域(134)至源极接触部(132c)的长度为d2,令从沟道区域(134)至第一端部(110a)的长度为d3,令第一端部(110a)的长度为L1,令源极接触部(132c)的长度为A1,则满足d2>d1和d2+A1/2>d3+L1/2。 | ||
| 搜索关键词: | 有源 矩阵 | ||
【主权项】:
1.一种有源矩阵基板,其包括:半导体层;薄膜晶体管元件,其包括第一薄膜晶体管,所述第一薄膜晶体管具有设置于所述半导体层的源极区域、沟道区域和漏极区域;栅极总线;漏极总线;和像素电极,该有源矩阵基板的特征在于:所述第一薄膜晶体管的源极区域包括源极接触部,所述半导体层具有与所述第一薄膜晶体管的源极区域相邻接的第一吸杂区域,所述半导体层包括第一端部、第二端部和位于所述第一端部与所述第二端部之间的中央部,所述第一端部具有比所述中央部大的宽度,在所述第一端部设置有包括所述源极接触部的所述第一薄膜晶体管的源极区域的一部分和所述第一吸杂区域,所述第一吸杂区域位于除了从所述源极接触部至所述第一薄膜晶体管的所述沟道区域的电荷的通路以外的所述第一端部的外周部分,令使以最短距离连接所述第一薄膜晶体管的沟道区域和所述第一吸杂区域的线段投影在连接所述第一薄膜晶体管的沟道区域和所述源极接触部的直线上的长度为d1,令所述半导体层的从所述第一薄膜晶体管的沟道区域至所述源极接触部的长度为d2,令所述半导体层的从所述第一薄膜晶体管的所述沟道区域至所述第一端部的长度为d3,令沿着连接所述第一薄膜晶体管的沟道区域和所述源极接触部的直线的所述第一端部的长度为L1,令沿着连接所述第一薄膜晶体管的沟道区域和所述源极接触部的直线的所述源极接触部的长度为A1,则满足d2>d1≥d3和d2+A1/2>d3+L1/2。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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