[发明专利]通过处理印模表面在基底上形成功能性材料的图案的方法无效
| 申请号: | 200880007421.X | 申请日: | 2008-03-20 |
| 公开(公告)号: | CN101627337A | 公开(公告)日: | 2010-01-13 |
| 发明(设计)人: | G·B·布朗谢特;李喜现;G·D·杰科克斯 | 申请(专利权)人: | E.I.内穆尔杜邦公司 |
| 主分类号: | G03F7/00 | 分类号: | G03F7/00 |
| 代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人: | 朱黎明 |
| 地址: | 美国特*** | 国省代码: | 美国;US |
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| 摘要: | 本发明提供了一种在基底上形成功能性材料的图案的方法。所述方法使用具有浮雕结构和至少10兆帕的弹性模量的弹性印模,所述浮雕结构具有凸起表面。对印模的至少凸起表面进行处理,处理方法是使印模暴露于热、辐射、电子、带电气流、化学流体、化学蒸汽、以及它们的组合以增强所述表面的润湿性。将功能性材料与液体的组合物施加到浮雕结构上,并移除所述液体以便在凸起表面上形成薄膜。弹性印模将功能性材料从所述凸起表面转移到基底上,从而在基底上形成功能性材料的图案。所述方法适于制造用于电子器件和组件的微电路。 | ||
| 搜索关键词: | 通过 处理 印模 表面 基底 形成 功能 材料 图案 方法 | ||
【主权项】:
1.在基底上形成功能性材料的图案的方法,所述方法包括:a)提供具有浮雕结构的弹性印模,所述浮雕结构具有凸起表面,所述印模具有至少10兆帕的弹性模量;b)对所述弹性印模的至少凸起表面进行处理;c)将包含所述功能性材料及液体的组合物施加到所述浮雕结构上;d)从所述浮雕结构上的组合物中移除所述液体,以便在至少所述凸起表面上形成所述功能性材料的薄膜;以及e)将所述功能性材料从所述凸起表面转移到所述基底上。
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