[发明专利]包括差动传感器MEMS器件和带孔衬底的电子器件

摘要

电子器件(1，1a，1b，1c，1d，1e)包括：衬底(2)，其设有至少一个通行开口(5)；MEMS器件(7)，其具有设有第一及第二表面(9，10)的差动传感器的功能和具有包括至少一个对与其第一作用表面及第二相对作用表面(11a，11b)相一致存在的流体的化学和/或物理变化敏感的部分(11)的类型的功能，该MEMS器件(7)的第一表面(9)使第一作用表面(11a)暴露并且使第二表面(10)设有暴露着第二相对作用表面(11b)的另一开口(12)，该电子器件(1，1d，1e)特征在于MEMS器件(7)的第一表面(9)面向衬底(2)并且与其隔开一段确定距离，敏感部分(11)与衬底(2)的通行开口(5)对准，以及特征在于其还包括：保护性封装(14，14a，14b)，其至少部分地合并MEMS器件(7)与衬底(2)以便使第一作用表面及第二相对作用表面(11a，11b)分别通过衬底(2)的通行开口(5)和第二表面(10)的另一开口(12)而暴露。

主权项

1.电子器件(1，1a，1b，1c，1d，1e)，包括：-衬底(2)，其设有至少一个通行开口(5)，-MEMS器件(7)，其具有设有第一及第二表面(9，10)的差动传感器的功能和具有包括至少一个对与其第一作用表面及第二相对作用表面(11a，11b)相一致存在的流体的化学和/或物理变化敏感的部分(11)的类型的功能，所述MEMS器件(7)的所述第一表面(9)使所述第一作用表面(11a)暴露并且使所述第二表面(10)设有暴露着所述第二作用相对表面(11b)的另一开口(12)，该电子器件(1，1d，1e)特征在于所述MEMS器件(7)的所述第一表面(9)面向所述衬底(2)并且与其隔开一段确定距离，所述敏感部分(11)与所述衬底(2)的所述通行开口(5)对准，以及特征在于其还包括：-保护性封装(14，14a，14b)，其至少部分地合并所述MEMS器件(7)和所述衬底(2)以便使所述第一作用表面及第二相对作用表面(11a，11b)分别通过所述衬底(2)的所述通行开口(5)以及所述第二表面(10)的所述另一开口(12)而暴露。