[发明专利]粗微移动装置以及具有该装置的液体供给装置有效
| 申请号： | 200880000662.1 | 申请日： | 2008-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN101541472A | 公开（公告）日： | 2009-09-23 |
| 发明（设计）人： | 佐藤诚一 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | B23Q1/60 | 分类号： | B23Q1/60;B05C5/00;G12B5/00 |
| 代理公司： | 上海金盛协力知识产权代理有限公司 | 代理人： | 段迎春 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种能够高精度地将移动体移动的粗微移动装置以及具有该装置的液体供给装置。第一和第二移动体(28，33)设置成可沿着引导件(26)移动。连接件(56)以相对可移动的方式连接所述第一和第二移动体。第一驱动机构(38)将所述第一移动体粗移第一行程。第二驱动机构(49)设置在所述第一移动体和第二移动体之间，并且相对所述第一移动体将所述第二移动体微移第二行程。所述第二驱动机构设置在所述第一和第二移动体其中之一上，并包括具有接触器(52)的致动器(50)。所述接触器具有第一接触面(52a)。所述第一和第二移动体中的另一个包括与所述接触器的所述第一接触面接触的第二接触面(53a)。所述第一接触面或第二接触面中的至少一个为球形。 | ||
| 搜索关键词： | 移动 装置 以及 具有 液体 供给 | ||
【主权项】：
1、一种粗微移动装置，包括：引导件；可沿着所述引导件移动的第一移动体和第二移动体；连接件，所述连接件以相对可移动的方式连接所述第一移动体和所述第二移动体；第一驱动机构，所述第一驱动机构使所述第一移动体粗移第一行程；第二驱动机构，所述第二驱动机构设置在所述第一移动体和第二移动体之间，并且使所述第二移动体相对所述第一移动体微移第二行程；其中所述第二驱动机构包括设置在所述第一移动体和第二移动体其中之一上的致动器，所述致动器包括具有第一接触面的接触器；所述第一移动体和第二移动体中的另一个具有可与所述接触器的所述第一接触面接触的第二接触面；并且所述第一接触面和第二接触面中的至少一个为球形。
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