[实用新型]一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置有效

专利信息
申请号: 200820233671.2 申请日: 2008-12-25
公开(公告)号: CN201317828Y 公开(公告)日: 2009-09-30
发明(设计)人: 梁开金;侯艳柱;方锋;邓德辉;杨杨;李洋 申请(专利权)人: 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司
主分类号: C30B15/20 分类号: C30B15/20
代理公司: 北京北新智诚知识产权代理有限公司 代理人: 郭佩兰
地址: 10008*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置,它包括:壳体,分别与加热电极的正极以及电极负极连接的电阻,且电阻的另一端接地,在电极的正极与地以及电极的负极与地之间分别并联一个电压表。所述的电压表的电源接24伏工作电源。本实用新型的有益效果是:结构简单,成本低廉,使用本实用新型装置可以及时、准确的对“电极接地故障”报警进行对判断,减少对地故障造成的损失。
搜索关键词: 一种 测量 直拉单晶炉 电极 电位差 装置
【主权项】:
1、一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置,其特征在于:它包括:壳体,分别与加热电极的正极以及电极负极连接的电阻,且电阻的另一端接地,在电极的正极与地以及电极的负极与地之间分别并联一个电压表。
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