[实用新型]一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置有效
| 申请号: | 200820233671.2 | 申请日: | 2008-12-25 |
| 公开(公告)号: | CN201317828Y | 公开(公告)日: | 2009-09-30 |
| 发明(设计)人: | 梁开金;侯艳柱;方锋;邓德辉;杨杨;李洋 | 申请(专利权)人: | 北京有色金属研究总院;有研半导体材料股份有限公司;国泰半导体材料有限公司 |
| 主分类号: | C30B15/20 | 分类号: | C30B15/20 |
| 代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 | 代理人: | 郭佩兰 |
| 地址: | 10008*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置,它包括:壳体,分别与加热电极的正极以及电极负极连接的电阻,且电阻的另一端接地,在电极的正极与地以及电极的负极与地之间分别并联一个电压表。所述的电压表的电源接24伏工作电源。本实用新型的有益效果是:结构简单,成本低廉,使用本实用新型装置可以及时、准确的对“电极接地故障”报警进行对判断,减少对地故障造成的损失。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 测量 直拉单晶炉 电极 电位差 装置 | ||
【主权项】:
1、一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置,其特征在于:它包括:壳体,分别与加热电极的正极以及电极负极连接的电阻,且电阻的另一端接地,在电极的正极与地以及电极的负极与地之间分别并联一个电压表。
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