[实用新型]滑阀真空泵减振装置无效
| 申请号: | 200820218587.3 | 申请日: | 2008-10-20 |
| 公开(公告)号: | CN201241834Y | 公开(公告)日: | 2009-05-20 |
| 发明(设计)人: | 孙飞;王晟 | 申请(专利权)人: | 锦州阳光能源有限公司 |
| 主分类号: | F04C29/00 | 分类号: | F04C29/00;F04C25/02 |
| 代理公司: | 锦州辽西专利事务所 | 代理人: | 李 辉 |
| 地址: | 121000辽*** | 国省代码: | 辽宁;21 |
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| 摘要: | 一种滑阀真空泵减振装置解决了在生产的过程中滑阀真空泵会产生振动并通过地面传导到单晶炉处,从而造成单晶与熔液液面的晃动,影响晶体生长的问题。它包括滑阀真空泵泵体和底座,在底座上设有减振弹簧。优点是:通过设在底座上的减振弹簧可起到减振作用,防止滑阀真空泵振动后经过地面传导到单晶炉处,确保晶体正常生长。 | ||
| 搜索关键词: | 滑阀 真空泵 装置 | ||
【主权项】:
1、一种滑阀真空泵减振装置,包括滑阀真空泵泵体和底座,其特征是:在底座上设有减振弹簧。
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