[实用新型]一种真空离子镀膜机有效
| 申请号： | 200820200618.2 | 申请日： | 2008-09-13 |
| 公开（公告）号： | CN201265041Y | 公开（公告）日： | 2009-07-01 |
| 发明（设计）人： | 苏东艺 | 申请（专利权）人： | 苏东艺 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 江门嘉权专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 谭志强 |
| 地址： | 510520广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空离子镀膜机，包括镀膜机主体和连接在镀膜机主体内的溅射靶，镀膜机主体机顶设有开口，开口连接法兰，溅射靶通过法兰连接在镀膜机内部，不同的法兰可通装不同数目、型号的溅射靶，而且能调整溅射靶在机顶上的位置，以满足不同的工艺要求，本实用新型结构简单，极大的方便了真空离子镀膜机的溅射靶的更换。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 真空 离子 镀膜 | ||
【主权项】：
1、一种真空离子镀膜机，包括镀膜机主体(1)和连接在镀膜机主体(1)内的溅射靶(2)，其特征在于：所述镀膜机主体(1)机顶设有开口，开口连接法兰(3)，溅射靶(2)通过法兰(3)连接在镀膜机(1)内部。
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