[实用新型]一种方向规的校准装置

摘要

本实用新型涉及一种方向规的校准装置，属于计量科学领域。本实用新型的一种方向的规校准装置包括包括进气系统、校准室、方向规控制系统及抽气系统。校准室顶端通过充气法兰与进气系统的上游室连接，校准室底端通过抽气法兰与抽气系统的大抽速分子泵相连，真空规、监测规、方向规支架通过标准CF法兰接口固定在校准室上，标有刻度的支架在校准室内部与方向规支架上垂直固定，方向规固定在标有刻度的支架上，磁流体密封传动机构、步进电机通过方向规支架固定在校准室外。本实用新型的装置校准装置能够在平衡态和非平衡态两种条件下，对方向规进行校准，解决了10^-7Pa的真空密封问题，校准室真空度高，方向规与定向分子流夹角的控制精准。

主权项

1.一种方向规的校准装置，其特征在于：包括进气系统、校准室、方向规控制系统及抽气系统；其中，进气系统由高压气瓶(23)、减压阀(22)、稳压室(20)、机械泵(24)、微调阀(18)及上游室(12)依次串联组成，稳压室(20)连有真空规(21)，上游室(12)连有用于测量上游室气体压力的磁悬浮转子规(19)和电容薄膜规(11)；校准室(9)采用球形容器结构，校准室(9)顶端开有充气法兰，底端分开有抽气法兰，校准室赤道面开有用于安装参考真空规(6)、监测规(7)、方向规支架(13)的标准CF法兰接口，以及两个操作法兰和一个超高法兰观察窗；方向规控制系统由参考真空规(6)、监测规(7)、方向规(10)、步进电机(15)、磁力传动器(14)、方向规固定架(13)、标有刻度的支架(8)组成；抽气系统由机械泵(1)、小分子泵(2)、金属角阀(3)、大抽速分子泵(4)依次串联组成；校准室(9)顶端通过充气法兰与进气系统的上游室(12)连接，且连接处设有小孔或针阀(17)，校准室(9)底端通过抽气法兰与抽气系统的大抽速分子泵(4)相连，且连接处设有限流孔板(5)；真空规(6)、监测规(7)、方向规支架(13)通过标准CF法兰接口固定在校准室(9)上，标有刻度的支架(8)在校准室(9)内部与方向规支架(13)上垂直固定，方向规(10)固定在标有刻度的支架(8)上，磁流体密封传动机构(14)、步进电机(15)通过方向规支架(13)固定在校准室(9)外。