[实用新型]晶棒提拉的截面成型构造无效
| 申请号： | 200820180535.1 | 申请日： | 2008-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN201428007Y | 公开（公告）日： | 2010-03-24 |
| 发明（设计）人： | 蓝崇文;徐文庆;谢兆坤;王兴邦;何思桦 | 申请（专利权）人： | 昆山中辰矽晶有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/22 | 分类号： | C30B15/22 |
| 代理公司： | 北京申翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 周春发 |
| 地址： | 215316江苏省昆*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型晶棒提拉的截面成型构造，在长晶炉抽拉制造晶棒时，在坩埚上的开口处装设一个热惟幕，此热惟幕设有一个呈接近多边形轮廓的开口，由此开口可控制长晶时的气流、热传导及热辐射，并且在开口形状的控制下，使长晶时的凝固温度的等温线趋近于所需多边形的形状，进而令晶体长成具有较接近预设多边形的截面形状，以减少晶棒在后续制造成为晶片时所需切除的材料。 | ||
| 搜索关键词： | 晶棒提拉 截面 成型 构造 | ||
【主权项】：
1、一种晶棒提拉的截面成型构造，其特征在于，在坩埚开口处设有一个用以控制热流通过长晶热场方式的热惟幕。
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