[实用新型]一种多晶硅料提纯设备无效
| 申请号: | 200820169185.9 | 申请日: | 2008-12-11 |
| 公开(公告)号: | CN201372205Y | 公开(公告)日: | 2009-12-30 |
| 发明(设计)人: | 吴云才;刘伟;刘文涛;聂帅;王春宪 | 申请(专利权)人: | 浙江昱辉阳光能源有限公司 |
| 主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037;C30B29/06;C30B15/10;C30B11/00 |
| 代理公司: | 浙江杭州金通专利事务所有限公司 | 代理人: | 徐关寿 |
| 地址: | 314117浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本实用新型涉及一种多晶硅料提纯设备,尤其是一种包括涂层陶瓷坩埚的提纯设备。本实用新型包括陶瓷坩埚和电加热装置,其特征在于在陶瓷坩埚内表面喷涂、烧结一隔离层;所述的隔离层可包含氮化硅;所述的隔离层喷涂温度为40~80℃,烧结温度为600~1000℃。本实用新型的优点在于解决了硅熔体与容器材质发生反应致使硅晶体纯度不高的问题,具有成本低、无污染、使用方便、固定可靠、不易损坏。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 多晶 提纯 设备 | ||
【主权项】:
1、一种多晶硅料提纯设备,包括陶瓷坩埚和电加热装置,其特征在于在陶瓷坩埚内表面喷涂、烧结一隔离层。
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