[实用新型]超高灵敏度氦质谱检漏仪

摘要

本实用新型公开了一种超高灵敏度氦质谱检漏仪，所述的超高灵敏度氦质谱检漏仪，包括离子源、质谱室、分子泵、机械泵，电控系统，所述的分子泵通过抽气口与质谱室连接，所述的分子泵在上、中、下部位设有三个气口，构成大、中、微漏气流通路；同时将放大器放在质谱室外并采用温差电制冷组件(又称帕尔贴)制冷，极大地提高了仪器的检测灵敏度。本实用新型结构简单，使用寿命长，自动化程度高，检测范围宽，检测灵敏度高，具有良好的应用前景。

主权项

1、一种超高灵敏度氦质谱检漏仪，包括离子源、质谱室、分子泵、机械泵、放大器和电控系统，所述的分子泵通过抽气口与质谱室连接，其特征在于：所述的分子泵在上、中、下部位设三个气口，所述的上进气口通过上管路中电磁阀连通检漏口，构成微漏气流通路；所述的中进气口通过中管路中电磁阀通检漏口，构成中漏气流通路；所述的下出气口通过下管路中一个电磁阀与机械泵连接，构成大漏气流通路；所述的检漏口通过管路同真空计连接，所述的检漏口同下管路之间有一电磁阀，所述的下出气口通过管路与规管连接。