[实用新型]一种用于化学气相淀积的气体导入装置

摘要

本实用新型提出了一种用于化学气相淀积的气体导入装置。所述气体导入装置呈环状，通常放置在化学气相淀积反应器反应腔的上部外周边。该气体导入装置由一个或多个气体导入单元组成，可以实现多股气流由化学气相淀积反应器圆柱形反应腔的外围，沿平行于化学气相淀积反应器圆柱形反应腔内水平放置的衬底载盘表面或与所述衬底载盘表面成一定夹角的径向方向，由外向内导入反应腔内；所述气体导入装置具结构简单，操作方便，制造和使用成本低等优点，适用于大直径化学气相淀积反应器反应腔。

主权项

1. 一种用于化学气相淀积的环形气体导入装置，所述环形气体导入装置水平放置在化学气相淀积反应器圆柱形反应腔的上部外周边、并在垂直方向上介于反应腔顶盖和衬底载盘之间；由所述环形气体导入装置导入的一股或多股气流，沿平行于所述衬底载盘表面或与所述衬底载盘表面成一定夹角的径向方向，由外向内导入反应腔内；其特征在于：所述环形气体导入装置包含一个或多个环形气体导入单元；所述环形气体导入单元沿垂直方向按一定间距逐个叠加排列放置在所述环形气体导入装置中。