[实用新型]化学气相淀积反应器

摘要

本实用新型揭示了一种用于化学气相淀积的反应器。该反应器有一种圆柱形反应腔，腔内有一种圆柱形顶盖支撑和一种环形气体扩散盘。该圆柱形反应腔能实现多股气流沿着与衬底表面平行或与衬底表面成一定角度的径向方向和另一股气流沿着与衬底表面垂直的方向进入反应腔。该反应器具有结构简单，操作与维修方便，制造和使用成本低等优点，使用该反应器进行化学气相淀积具有效率高，耗源少，重复性，再现性和一致性好等优点。

主权项

1.一种化学气相淀积反应器，其特征在于，包括圆柱形反应腔，所述圆柱形反应腔内包括反应腔顶盖，反应腔底盘，筒状反应腔侧壁，放置在所述反应腔底盘中心部位的圆柱形顶盖支撑，水平放置在所述圆柱形反应腔中的环形衬底载盘，水平放置在所述反应腔侧壁上部界于所述反应腔顶盖和环形衬底载盘之间的气体导入环，围绕着所述圆柱形顶盖支撑的环形气体排出通道或水平放置在所述圆柱形顶盖支撑上部的气体排出环，放置在所述环形衬底载盘下方的加热装置和放置在所述反应腔底盘附近的排气孔；所述圆柱形顶盖支撑所提供的顶部支撑到所述反应腔顶盖内侧的中央部位；所述气体导入环包含若干环形气体喷嘴，由所述环形气体喷嘴导入所述反应腔的气流方向平行于所述环形衬底载盘表面或与所述环形衬底载盘表面成小于90度的斜角，所述环形气体喷嘴之间相互不连通，每一个所述环形气体喷嘴与各自的供气单元连接。