[实用新型]一种热驱动变形透射电镜载网有效

专利信息
申请号: 200820079780.3 申请日: 2008-04-07
公开(公告)号: CN201191595Y 公开(公告)日: 2009-02-04
发明(设计)人: 韩晓东;郑坤;张泽 申请(专利权)人: 北京工业大学
主分类号: H01J37/20 分类号: H01J37/20;G01N1/28
代理公司: 北京思海天达知识产权代理有限公司 代理人: 张燕慧
地址: 100022*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 一种热驱动变形透射电镜载网属于纳米器件领域。本实用新型拟解决载网只能通过电子束辐照进行变形,且提供应力有限的问题。本实用新型所提供的载网包括骨架(1)和蒸镀在骨架(1)上的支持膜(2),其特征在于,还包括金属薄膜A(3)和金属薄膜B(4);其中,金属薄膜A(3)蒸镀在支持膜(2)之上,金属薄膜B(4)蒸镀在金属薄膜A(3)之上,且金属薄膜A(3)的热膨胀系数要大于金属薄膜B(4)的热膨胀系数,二者比弯曲大于10/10-6·℃-1。金属薄膜A(3)和B(4)的厚度为20~50nm。本实用新型所提供的载网可以实现X,Y两个方向大角度倾转,安装方便,结构简单的特点,拓了透射电镜的功能。
搜索关键词: 一种 驱动 变形 透射 电镜载网
【主权项】:
1、一种热驱动变形透射电镜载网,包括骨架(1)和蒸镀在骨架(1)上的支持膜(2),其特征在于,还包括金属薄膜A(3)和金属薄膜B(4);其中,金属薄膜A(3)蒸镀在支持膜(2)之上,金属薄膜B(4)蒸镀在金属薄膜A(3)之上,且金属薄膜A(3)的热膨胀系数要大于金属薄膜B(4)的热膨胀系数。
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