[实用新型]电极间距调整装置

摘要

本实用新型涉及一种太阳能电池生产中的沉积设备，具体地说是一种方便改变等离子体化学气相沉积(PECVD)中的电极间距，调整沉积速率的电极间距调整装置。该装置包括电极板、底座、导轨、固定螺丝、刻度尺，所述的电极板固定在底座上，其上带有固定螺丝的底座设置在导轨上，并可沿导轨上的沟槽滑动，刻度尺设置在导轨的侧面。本实用新型由于采用上述结构使得电极间距可以自由的调整，结构简单，可以在生产中对电极间距进行适当调节，找到最小电极间距，保证最好沉积效果，调整方便，并且调整之后可在刻度尺上读取电极间距。方便进行读取，并进行记录，寻找最小电极间距。

主权项

1、一种电极间距调整装置，其特征在于：该装置包括电极板(1)、底座(2)、导轨(3)、固定螺丝(4)、刻度尺(5)，所述的电极板(1)固定在底座(2)上，其上带有固定螺丝(4)的底座(2)设置在导轨(3)上，并可沿导轨(3)上的沟槽(6)滑动，刻度尺(5)设置在导轨(3)的侧面。