[实用新型]用于单晶生长装置的结晶区温度梯度调节器无效
| 申请号： | 200820062849.1 | 申请日： | 2008-04-10 |
| 公开（公告）号： | CN201212066Y | 公开（公告）日： | 2009-03-25 |
| 发明（设计）人： | 赵北君;朱世富;何知宇;陈宝军;唐世红;王立苗 | 申请（专利权）人： | 四川大学 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 成都科海专利事务有限责任公司 | 代理人： | 黄幼陵 |
| 地址： | 610065四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 一种用于单晶生长装置的结晶区温度梯度调节器，由保温隔热材料制作的座板和保温隔热材料制作的动板组成；座板上设置有一底部为平面的凹槽，凹槽的中心部位开设有大于坩埚套外径的通孔I，凹槽的环面上开设有调温孔I；动板的形状和径向尺寸与座板上设置的凹槽相匹配，动板中心部位开设有与通孔I尺寸相同的通孔II，动板环面上开设有调温孔II，调温孔II与调温孔I形状、尺寸、数量、间距相同；动板放置在座板所设置的凹槽中，其与凹槽为动配合，座板固定在坩埚下降法单晶生长装置炉体上。此种调节器结构简单，使用方便，调节单晶生长炉结晶区温度梯度时灵敏度高，使结晶区温度梯度可在大范围内调整，易于获得窄温区、大温梯的温场分布。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 生长 装置 结晶 温度梯度 调节器 | ||
【主权项】：
1、一种用于单晶生长装置的结晶区温度梯度调节器，其特征在于由保温隔热材料制作的座板(1)和保温隔热材料制作的动板(5)组成，座板(1)上设置有一底部为平面的凹槽(2)，凹槽的中心部位开设有大于坩埚套外径的通孔I(3)，凹槽的环面上开设有调温孔I(4)，动板(5)的形状和径向尺寸与座板上设置的凹槽(2)相匹配，动板(5)中心部位开设有与通孔I尺寸相同的通孔II(6)，动板(5)环面上开设有调温孔II(7)，调温孔II与所述凹槽环面上开设的调温孔I(4)形状、尺寸、数量、间距相同，动板(5)放置在座板(1)所设置的凹槽(2)中，其与凹槽为动配合。
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