[发明专利]镀膜装置

摘要

本发明提供了一种镀膜装置，其包括：一用于支撑待镀工件的镀膜伞架、多个连接件、一支架及一检测装置。所述每个连接件具有第一端部及与其相对的第二端部，所述第一端部连接于所述镀膜伞架的顶部，所述第二端部设有外螺纹。所述支架开设有螺纹孔，所述多个连接件的第二端部螺合入所述支架的螺纹孔中，以悬吊所述镀膜伞架。所述检测装置，用于检测所述连接件旋入或旋出所述支架的过程中，所述镀膜伞架是否保持水平。相较于现有技术，所述的镀膜装置由检测装置判断镀膜伞架是否为水平位置，并通过所述多个连接件实现镀膜伞架的水平位置调整，避免了在镀膜制程中由于镀膜伞架的倾斜而造成的待镀工件表面镀膜厚度的差异，进一步提高了镀膜精度。

主权项

1.一种镀膜装置，其包括：一用于支撑待镀工件的镀膜伞架；多个连接件，所述每个连接件具有第一端部及与其相对的第二端部，所述第一端部连接于所述镀膜伞架的顶部，所述第二端部设有外螺纹；及一支架，所述支架开设有螺纹孔，所述多个连接件的第二端部螺合入所述支架的螺纹孔中，以悬吊所述镀膜伞架，其特征在于，所述镀膜伞架的底部开设有至少两个相对设置的第一通孔，所述镀膜装置进一步包括一检测装置，用于检测所述连接件的第二端部旋入或旋出所述支架的过程中，所述镀膜伞架是否保持水平，所述检测装置进一步包括一光源和一光接收装置，所述光源和光接收装置对应设置于所述镀膜伞架的至少两个第一通孔的两侧，且位于同一条水平线上。